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本发明涉及一种氮化镓透明导电氧化膜欧姆电极的制作方法，是在氮化镓膜层上形成导电透明膜，再在该导电透明膜上利用离子扩散方式，以在氮化镓膜层表层上形成电气特性相反的透明导电异质接口，以及在该透明导电异质接口的表面铺设一金属厚膜，以用于后续制程打...
该专利属于泰谷光电科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过泰谷光电科技股份有限公司授权不得商用。

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