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中国科学院半导体研究所
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锁模光纤光栅外腔半导体激光器结构制造技术
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文档序号:3314144
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一种锁模光纤光栅外腔半导体激光器结构,其中包括:一半导体激光器,该半导体激光器构成整个器件的激光增益装置,其中间为量子阱结构有源层,在该半导体激光器上制作有激光器电极;一电吸收调制器,在该电吸收调制器上制作有调制器高频电极,该电吸收调制器与...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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