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带有可调节粒子射束的冷气喷射设备制造技术
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下载带有可调节粒子射束的冷气喷射设备的技术资料
文档序号:33141119
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本发明涉及一种用于产生可调粒子射束(50)的冷气喷射设备(100)和一种用于控制这种冷气喷射设备(100)的方法。为了在持续运行期间针对性地控制冷气喷射设备(100)的粒子射束(50),特别是为了在短期内使其关闭而建议,冷气喷射设备(100...
该专利属于西门子股份公司所有,仅供学习研究参考,未经过西门子股份公司授权不得商用。
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