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集成型半导体激光元件及其制造方法技术
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文档序号:3314085
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提高集成GaN类半导体激光元件与GaP类半导体激光元件的集成型半导体激光元件的激光特性,并实现长寿命化。在接合形成于GaN基板的由氮化物类半导体激光器结构组成的LD1晶片与形成于GaAs基板的由镓磷类半导体激光器结构组成的LD1晶片与形成于...
该专利属于三洋电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三洋电机株式会社授权不得商用。
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