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本发明揭示一种通过在所述衬底上形成一第一平行镜面堆叠、在所述第一平行镜面堆叠上形成一活性及间隔层并在所述活性及间隔层上形成一第二平行镜面堆叠而在一衬底上制造一垂直共振腔面射型激光器的方法。然后，蚀刻所述第二平行镜面堆叠以界定一结构，随后，氧...
该专利属于昂科公司所有，仅供学习研究参考，未经过昂科公司授权不得商用。

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