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基于超薄二维氧化锡的氢气传感器及制作方法技术
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下载基于超薄二维氧化锡的氢气传感器及制作方法的技术资料
文档序号:33139933
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本发明设计基于超薄二维氧化锡的氢气传感器及制作方法,是通过液态金属范德华力剥离法,在液态Sn表面剥离出SnO超薄二维材料,再退火氧化,制成稳定的SnO2,易于MEMS兼容以及集成。具体制作方法包括:在低氧环境下的手套箱中于石英管内放入Sn粉...
该专利属于湖北大学所有,仅供学习研究参考,未经过湖北大学授权不得商用。
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