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一种预测性维护方法的示例包括：确定在已经使用配方的衬底处理中测量的模拟数据是否超过对应于配方并且已经预先确定的可允许阈值；以及在在确定中模拟数据超过可允许阈值被确定的情况下，通知用户已经预先与模拟数据相关的有关模块已经劣化。关的有关模块已经...
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