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本公开涉及具有蚀刻终止层的装置和其相关方法。一种装置包括：衬底；绝缘层，其包括形成于所述衬底的上表面上方的蚀刻终止层；形成于所述绝缘层上方的第一导电区；以及形成于所述衬底内的开口，所述开口从所述衬底的下表面延伸、穿过所述衬底的所述上表面并穿...
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