下载体声波谐振器的技术资料

文档序号:33138918

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本公开提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括:基板;谐振部,包括顺序堆叠的第一电极、压电层和第二电极;腔,限定在所述基板与所述谐振部之间;以及散热部,设置在所述腔中并支撑所述谐振部。所述第二电极包括第一区域和第二区域,所述第二区域的厚度...
该专利属于三星电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电机株式会社授权不得商用。

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