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具有自对准半导体平台和接触层的半导体器件和相关器件的制造方法技术
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下载具有自对准半导体平台和接触层的半导体器件和相关器件的制造方法的技术资料
文档序号:3313885
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一种制造半导体器件的方法,该方法包括: 在衬底上形成半导体层; 与衬底相对地在半导体层上形成导电层; 与半导体层相对地在导电层上形成掩膜; 选择性地除去由掩膜暴露的半导体层和导电层的部分,同时保留掩膜以定义半导体平台...
该专利属于克里公司所有,仅供学习研究参考,未经过克里公司授权不得商用。
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