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孔阵列层结构、芯片装置和纳米孔测序装置制造方法及图纸
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文档序号:33138527
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本申请涉及孔阵列层结构、芯片装置和纳米孔测序装置。孔阵列层结构,用于和衬底形成成膜空间,成膜空间用于形成膜层。孔阵列层结构包括:阵列排布的多个孔单元,孔单元贯穿孔阵列层结构,孔单元具有轴向连通的第一容纳腔和第二容纳腔,第一容纳腔被配置为和衬...
该专利属于成都齐碳科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都齐碳科技有限公司授权不得商用。
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