下载光电器件及其制备方法的技术资料

文档序号:33136630

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本申请提供了一种光电器件及其制备方法,涉及光电领域。该光电器件包括波导层和光收发芯片;其中,波导层包括第一包层、第二包层、位于第一包层和第二包层之间的波导芯层、以及贯穿第一包层及波导芯层的斜槽。该斜槽包括第一侧面和第二侧面,第一侧面靠近波导...
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