下载一种扫描致动器及光纤扫描器的技术资料

文档序号:33136621

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本实用新型公开了一种扫描致动器,包括依次连接的第一致动部和第二致动部,第一致动部包括基板、以及设置于基板上表面和/或下表面的压电驱动层,所述的压电驱动层包括多个沿前后方向依次交叉设置的第一电极和第二电极、以及设置于各相邻第一电极和第二电极之...
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