一种扫描致动器及光纤扫描器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种扫描致动器，包括依次连接的第一致动部和第二致动部，第一致动部包括基板、以及设置于基板上表面和/或下表面的压电驱动层，所述的压电驱动层包括多个沿前后方向依次交叉设置的第一电极和第二电极、以及设置于各相邻第一电极和第二电极之间的压电陶瓷单元，各压电陶瓷单元均沿前后方向极化；第二致动部的固定端与基板的自由端固定连接。还公开了采用所述扫描致动器的光纤扫描器。本实用新型专利技术利用压电陶瓷单元的D33方向型变驱动致动器振动，型变量大，显著降低了驱动功耗。功耗。功耗。

【技术实现步骤摘要】
一种扫描致动器及光纤扫描器


[0001]本技术涉及扫描显示
，尤其涉及一种扫描致动器及光纤扫描器。

技术介绍

[0002]扫描显示成像作为一种新兴的显示技术，可用于投影显示、近眼显示等多种显示场景。
[0003]扫描显示成像除了可由目前应用较广泛的数字微镜设备(Digital Micromirror Device，DMD)实现以外，还可由光纤扫描器所实现。
[0004]一种典型的光纤扫描器结构如图1所示，该光纤扫描器主要包括：采用快慢轴结构的扫描致动器，以及，用于扫描出光的光纤。固定于基座上的扫描致动器按照从后向前的方向依次包括慢轴、隔离部、快轴，一些光纤扫描器也可以不必具有隔离部，慢轴用于在前后方向(竖直方向，即图1中参考坐标系的Y轴方向)以相对较慢的频率振动，快轴用于在第二方向(水平方向，即图1中参考坐标系的X轴方向)以相对较快的频率振动，慢轴的振动通过隔离部累加在快轴上，或在不具有隔离部的实施例中慢轴的振动直接累加在快轴上，从而可带动光纤在前后方向及第二方向上进行二维扫动，实现二维格栅式扫描，投射出图像。
[本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扫描致动器，其特征在于，包括依次连接的第一致动部和第二致动部，所述的第一致动部包括基板、以及设置于基板上表面和/或下表面的压电驱动层，以基板前后两端分别为固定端和自由端，以基板的厚度方向为垂直方向，所述的压电驱动层包括多个沿前后方向依次交叉设置的第一电极和第二电极、以及设置于各相邻第一电极和第二电极之间的压电陶瓷单元，各压电陶瓷单元均沿前后方向极化，且任意两个相邻的压电陶瓷单元的极化方向相反，各第一电极均相互电性连接，各第二电极均相互电性连接；第二致动部的两端分别为固定端和自由端，第二致动部的自由端相对于其固定端至少沿水平方向振动，第二致动部的固定端与基板的自由端固定连接。2.如权利要求1所述的一种扫描致动器，其特征在于，所述的第二致动部为快轴致动器，第一致动部为慢轴致动器，快轴致动器的振动频率远大于慢轴致动器的振动频率。3.如权利要求1所述的一种扫描致动器，其特征在于，所述基板上表面设置有压电驱动层，所述的基板下表面未设置有压电驱动层，所述的压电驱动层包括设置于基板上表面的多个沿前后方向依次交叉设置的第一电极和第二电极、以及设置于各相邻第一电极和第二电极之间的压电陶瓷单元，各压电陶瓷单元均沿前后方向极化，且任意两个相邻的压电陶瓷单元的极化方向相反，各第一电极均相互电性连接，各第二电极均相互电性连接。4.如权利要求1所述的一种扫描致动器，其特征在于，所述基板下表面设置有压电驱动层，所述的基板上表面未设置有压电驱动层，所述的压电驱动层包括设置于基板下表面的多个沿前后方向依次交叉设置的第一电极和第二电极、以及设置于各相邻第一电极和第二电极之间的压电陶瓷单元，各压电陶瓷单元均沿前后方向极化，且任意两个相邻的压电陶瓷单元的极化方向相反，各第一电极均相互电性连接，各第二电极均相互电性连接。5.如权利要求1所述的一种扫描致动器，其特征在于，所述基板的上表面和下表面均设置有压电驱动层，所述的基板的上表面设置有第一压电驱动层，所述的第一压电驱动层包括设置于基板上表面的多个沿前后方向依次交叉设置的第一电极和第二电极、以及设置于各相邻第一电极和第二电极之间的压电陶瓷单元，各压电陶瓷单元均沿前后方向极化，且任意两个相邻的压电陶瓷单元的极化方向相反，第一压电驱动层的各第一电极均相互电性连接，第一压电驱动层的各第二电极均相互电性连接；所述的基板的下表面设置有第二压电驱动层，所述的第...

【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ五一IntClH零二N二零零，
申请(专利权)人：成都理想境界科技有限公司，
类型：新型
国别省市：