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掺杂质基底的波导检测器制造技术
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下载掺杂质基底的波导检测器的技术资料
文档序号:3313653
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一种光学电路,包含:一半导体基材、一形成在该基材内或其上的光波导;以及形成在该半导体基材内或其上的光检测器,其中该光检测器系与该光波导对准,以便在操作期间接收来自该光波导的光学信号,且其中该光检测器具有:一第一电极;一第二电极;以及一介于该...
该专利属于应用材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料股份有限公司授权不得商用。
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