下载氮化物系半导体元件的技术资料

文档序号:3313646

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本发明提供一种氮化物系半导体元件,它具有由纤锌矿结构的n型氮化物系半导体层和氮化物系半导体基板中的任一个构成的第1半导体层和在该第1半导体层的背面上形成的n侧电极,所述n侧电极与第1半导体层之间的接触电阻在0.05Ωcm↑[2]以下。...
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