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半导体激光用单晶晶片制造技术
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文档序号:3313592
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提供通过光学式的定位方式提高以劈开面作为基准的调合掩模图形时的精度及可以实现提高工序合格率的半导体激光单晶晶片。提供一种半导体激光用单晶晶片,将由劈开形成取向平面的晶片的表面用高硬度的研磨布且在适当地按压晶片压力及研磨速率下,使晶片表面的中...
该专利属于日立电线株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日立电线株式会社授权不得商用。
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