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本发明公开了一种多级压力快速烧结炉及其使用工艺，涉及冶金技术及芯片封装互连技术领域。本发明的的多级压力快速烧结炉摒弃了传统烧结炉使用抽气装置抽除炉内空气，创新性地提出了通过液压系统直接往烧结炉内通液压油的方式排除烧结炉内空气的方法，通过使用...
该专利属于广东风华高新科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东风华高新科技股份有限公司授权不得商用。

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