下载发光元件的制造方法、半导体激光器及其制造方法的技术资料

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一种沿衬底的垂直方向发射光的表面发光型发光元件的制造方法,包括以下工序(a)~(e):(a)腐蚀多层膜的至少一部分来形成柱状部的工序,(b)形成覆盖柱状部的第1树脂层的工序,(c)改变第1树脂层相对于液体中的溶解度来形成第2树脂层的工序,(...
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