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本申请提供一种薄膜体声波谐振器及其制备方法，涉及滤波器技术领域，包括：衬底以及依次层叠设置于衬底上的下电极、压电层、上电极和电容结构，电容结构与上电极连接，由于电容结构直接以层叠的方式设置于上电极上，因此，能够避免因为引入电容结构从而增大占...
该专利属于武汉敏声新技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉敏声新技术有限公司授权不得商用。

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