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大陡度凸面光学自由曲面高频段像差检测系统及检测方法，涉及自由曲面光学检测技术领域，本发明为解决大陡度凸面光学自由曲面高频段像差检测这一技术难题，进而指导自由曲面光学元件在研磨向抛光过渡阶段的面形加工，实现精研磨阶段尽可能多的去除面形残差，提...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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