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本申请提供了一种确定晶圆缺陷形状的方法、装置、电子设备和存储介质，其中，该方法包括：针对每种规格的目标晶圆图片，将目标晶圆图片与该规格下的标准晶圆图片进行比对，获取目标晶圆图片中每个缺陷点所在的坐标位置；根据每个坐标位置，按照预设缩放比将每...
该专利属于上海赛美特软件科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海赛美特软件科技有限公司授权不得商用。

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