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快门单元及使用该快门单元的激光加工装置制造方法及图纸
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下载快门单元及使用该快门单元的激光加工装置的技术资料
文档序号:3313408
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本发明提供一种能够防止在激光束光程关闭时激光束发生散射,并可实现小型化的快门单元和使用该快门单元的激光加工装置。在快门单元(1)中,在激光束(L)的光程开启时,使旋转部件(57)以轴线(γ)为中心旋转,使开口部(61)位于光轴(α)上,并使...
该专利属于浜松光子学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。
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