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公开了一种气体放电激光结晶化设备和方法，用来完成工件的膜中的晶体结构或取向的转换，其可以包括以主振荡器功率放大器ＭＯＰＡ或功率振荡器功率放大器配置的ＸｅＦ激光系统，所述激光系统以高重复率和高功率产生具有脉冲对脉冲剂量控制的激光输出光脉冲光束...
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