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光学自由曲面中低频段像差检测装置及方法，涉及光学自由曲面检测技术领域，本发明采用基于横向平移差异相位恢复检测光学自由曲面中低频段像差的方法，设计一种兼顾高精度和大测量范围的光学自由曲面中低频段像差检测系统，以解决传统干涉仪无法检测非轴对称、...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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