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半导体激光器及其制造方法技术
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文档序号:3313353
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目的在于实现一种在利用选择MOVPE生长制造的半导体激光器中,抑制在宽幅部生长的再结合部的晶格弛豫,抑制漏电流,高可靠性的半导体激光器。利用选择MOVPE生长制造半导体激光器时,通过作为氧化硅掩模13的间隙的窄幅部14上外延生长的DH台面带...
该专利属于日本电气株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本电气株式会社授权不得商用。
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