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一种互连结构包括第一介电层、第一导体、蚀刻停止层、第二介电层和第二导体。第一介电层在第一介电层中具有至少一个孔。第一导体至少部分地设置在第一介电层的孔中。蚀刻停止层设置在第一介电层上。蚀刻停止层具有开口以至少部分地暴露出第一导体。第二介电层...
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