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阵列测试器（１０）基于作为角位置的函数偏振分解各芯片（１１１）的光学远场测量来表征阵列（１１）的半导体器件的各芯片（１１１）。两对ＴＭ和ＴＥ检测器（４１ａ－ｂ和４２ａ－ｂ）或一对位移九十度的，在垂直和水平弧路径中移动或者固定在阵列的选定器件...
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