下载一种光刻膜的制备方法的技术资料

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本发明涉及一种光刻膜的制备方法,包括基膜和涂覆在基膜上的涂层,制备方法包括以下步骤:步骤一涂料混合、步骤二涂布和步骤三烘干,本发明的优点:由于涂料通过丙烯酸异辛酯、乙酸正丙酯、丙二醇甲醚、乙酸丙酸纤维素、己二酸、二苯基碳酸酯,己烷
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