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本发明公开了一种屏下阴极材料的去除系统，包括：激光发射器，激光发射器用于发射激光；二维可调狭缝组件，二维可调狭缝组件用于将激光整形为矩形光斑或线形光斑；管镜，管镜位于二维可调狭缝组件远离激光发射器的一端，用于将矩形光斑或线形光斑进行聚焦；物...
该专利属于珠海东辉半导体装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过珠海东辉半导体装备有限公司授权不得商用。

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