下载垂直腔面发射激光器及其制造方法的技术资料

文档序号:3313304

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本发明涉及一种垂直腔面发射激光器及其制造方法。本发明的所述垂直腔面发射激光器包括:一衬底、一第一反射器、一活性层、一第二反射器、一第一电极层和一第二电极层。所述第二反射器具有一第一孔径的第一限制层,和一有一第二孔径的第二限制层。所述第二孔径...
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