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本文公开一种谐振型传感器，包括：与谐振振子连接的一个以上支撑锚，支撑锚包括一个以上连接件形状的结构和一个以上支撑结构；其中，连接件结构用于与谐振振子的侧壁连接；支撑锚包含的连接件结构和支撑结构一体成型，组成的形状为除矩形和梯形以外的形状。本...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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