下载存储器结构及其形成方法的技术资料

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一种存储器结构及其形成方法,其中存储器结构包括:衬底;位于所述衬底上的两个相互分立的浮栅结构,两个所述浮栅结构之间具有第一开口,所述浮栅结构包括第一浮栅部、以及位于所述第一浮栅部上的第二浮栅部,所述第一开口暴露出所述第一浮栅部的侧壁和所述第...
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