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本发明实施例提出一种金刚石膜自动制作方法和微波等离子体控制系统，通过微波等离子体控制系统响应用户操作，从预设的抽取真空流程、启辉流程、升温流程、晶种刻蚀流程、单晶生长流程、降温流程、设备关机流程、晶体清洁流程、腔体清洁流程和排空流程中选择一...
该专利属于成都沃特塞恩电子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都沃特塞恩电子技术有限公司授权不得商用。

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