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本发明公开了一种复合透明导电薄膜及其制备方法，制备方法包括以下步骤：S1、衬底前处理：对衬底表面进行清洗以保证衬底表面干净无杂质并进行烘干；S2、第一氧化物层制备：使用射频磁控溅射法在衬底上沉积第一氧化物层；S3、金属层制备：使用直流磁控溅...
该专利属于广东石油化工学院所有，仅供学习研究参考，未经过广东石油化工学院授权不得商用。

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