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本发明提供一种多维微振动模拟器，包括对置的下平台组件和上平台组件，以及位于上平台组件和下平台组件之间的粗级调节单元和精级调节单元。其中，粗级调节单元包括均布于下平台组件的多个粗级驱动组件和连接粗级驱动组件与上平台组件的多个粗级支腿；精级调节...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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