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本发明的电介质阻挡放电准分子光源，能得到高亮度的真空紫外波长领域光，并能使该光效率良好地照射到被照射物体。阳极电极（１０）由直长筒体构成，且该筒体的外围覆盖了电介质（１２）。而阴极部分（２０）为直长半圆筒体状。阴极（２５）包容阳极，且阳极与...该专利属于千工程股份有限公司;高电流电子协会所有，仅供学习研究参考，未经过千工程股份有限公司;高电流电子协会授权不得商用。
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本发明的电介质阻挡放电准分子光源，能得到高亮度的真空紫外波长领域光，并能使该光效率良好地照射到被照射物体。阳极电极（１０）由直长筒体构成，且该筒体的外围覆盖了电介质（１２）。而阴极部分（２０）为直长半圆筒体状。阴极（２５）包容阳极，且阳极与...