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一种ZnO基发光二极管及其制备方法技术
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文档序号:3313143
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本发明涉及ZnO基发光二极管及其制备方法,首先采用脉冲激光沉积法在衬底上依次沉积ZnO同质缓冲层、n型ZnO接触层、n型Zn↓[1-x]Mg↓[x]O层、多层Zn↓[1-x]Mg↓[x]O/ZnO多量子阱结构层、p型Zn↓[1-x]Mg↓[...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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