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一种ZnO基量子点激光二极管及其制备方法技术
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文档序号:3313131
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本发明公开的ZnO基量子点激光二极管是以ZnO为基,在衬底的一面自下而上依次沉积n-ZnO薄膜层、n-Zn↓[1-x]Mg↓[x]O薄膜层、第一ZnO/Zn↓[1-y]Mg↓[y]O分布布拉格反射层、ZnO量子点有源层、第二ZnO/Zn↓[...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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