下载脊形波导式半导体激光器制作方法的技术资料

文档序号:3313125

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本发明提供一种脊形波导式半导体激光器及其制作方法,包括具有脊形波导突起的脊形波导晶片,位于脊形波导突起的两侧自下而上包括:一层二氧化硅钝化膜和一层聚酰亚胺膜,且聚酰亚胺膜的上表面高于脊形波导突起的上表面,P型电极覆盖在所述脊形波导突起的上表...
该专利属于深圳新飞通光电子技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳新飞通光电子技术有限公司授权不得商用。

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