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本发明提供一种高带宽空腔型薄膜体声波谐振器及其制备方法。该谐振器按照从下向上的顺序依次包括衬底、键合层、底电极、复合压电薄膜和顶电极；其中，所述顶电极、所述复合压电薄膜和所述底电极形成三明治结构；所述复合压电薄膜为若干层压电层叠加组成；所述...
该专利属于河源市艾佛光通科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河源市艾佛光通科技有限公司授权不得商用。

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