下载真空镀膜前热处理吹扫设备的技术资料

文档序号:33130110

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本发明涉及一种真空镀膜前热处理吹扫设备,包括柜体,柜体内设有工作台、吹扫机构、吸尘机构、升降机构和加热装置,工作台设置在柜体内下部位置,且由支撑架支撑,工作台上设有旋转组件,吹扫机构位于所述旋转组件上方,吸尘机构设置在吹扫机构一侧,吸尘机构...
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