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一种第Ⅲ族氮化物晶体物质的制造方法包括以下步骤：通过向反应室（１１０）中引入ＨＣｌ气体（１）而清洁反应室（１１０）的内部，以及第Ⅲ族氮化物晶体物质在清洁的反应室（１１０）中气相沉积。一种第Ⅲ族氮化物晶体物质的制造装置包括：将ＨＣｌ气体（１）...
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