下载一种强化处理的类金刚石薄膜及其制备方法的技术资料

文档序号:33128114

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本发明属于类金刚石薄膜制备的技术领域,公开了一种强化处理的类金刚石薄膜及其制备方法。所述方法:将类金刚石涂层样品进行深冷处理,获得强化处理的类金刚石薄膜;所述类金刚石涂层样品中类金刚石涂层的sp3C体积含量为42%
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该专利属于华南理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过华南理工大学授权不得商用。

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