下载一维光子晶体调制的量子级联激光器管芯结构及制造方法的技术资料

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本发明一种一维光子晶体调制的量子级联激光器管芯结构,其特征在于,该结构包括:一衬底;一量子级联激光器谐振腔,该量子级联激光器谐振腔制作在衬底上;一一维光子晶体结构,该一维光子晶体结构由深刻蚀形成的空气介质与激光器材料介质交替重复多个周期组成...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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