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本发明提供了一种射频电源的功率采集电路及方法,所述功率采集电路包括:定向耦合器,用于采集射频电源的第一输出电压;DAC转换模块,用于根据输入的数字量,输出相应的第二输出电压;比较器模块,用于比较所述DAC转换模块的所述第二输出电压和所述定向...该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种射频电源的功率采集电路及方法,所述功率采集电路包括:定向耦合器,用于采集射频电源的第一输出电压;DAC转换模块,用于根据输入的数字量,输出相应的第二输出电压;比较器模块,用于比较所述DAC转换模块的所述第二输出电压和所述定向...