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一种微纳米复合结构的制作方法技术
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文档序号:33125276
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本发明提供一种微纳米复合结构的制作方法,包括如下步骤:提供第一支撑件,在第一支撑件上形成塑形层,塑形层的形状可变;在塑形层上层叠设置分隔层,分隔层形成有第一通孔;在分隔层上层叠设置纳米模板,纳米模板包括第一基层和多个纳米柱,且纳米模板与分隔...
该专利属于深圳先进技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过深圳先进技术研究院授权不得商用。
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