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一种溅镀镀膜设备制造技术
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文档序号:33124998
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本发明涉及镀膜技术领域,具体为一种溅镀镀膜设备,包括箱体、固定连接在箱体一侧壁的固定杆、靶材支架、靶材、基片支架和基片,靶材固定安装在靶材支架的一侧,基片支架设于远离靶材一端的箱体内,基片固定安装在基片支架的一侧,所述箱体的侧壁上开设有两个...
该专利属于汪子健所有,仅供学习研究参考,未经过汪子健授权不得商用。
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