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一种氮化镓基外延膜的制备方法，涉及一种氮化镓基外延膜。提供一种提高氮化镓激光剥离的速率，降低氮化镓激光剥离的阈值功率密度的氮化镓基外延膜的制备方法。在蓝宝石衬底上生长氮化镓基外延膜，将其Ｐ面粘在衬底支撑材料上，或用金属键合在衬底支撑材料上；...
该专利属于厦门大学所有，仅供学习研究参考，未经过厦门大学授权不得商用。

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