下载应用奈米小球形成二维图案的方法的技术资料

文档序号:3312339

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本发明涉及一种形成二维图案的方法,其包含:在一基板上涂覆多个小球;利用所述小球于所述基板上形成一屏蔽;蚀刻所述基板;及自所述基板移除所述屏蔽。此外,本发明另涉及一种处理一基板表面之方法,其包含:在所述基板表面上涂覆多个小球;在所述小球之间沉...
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